MEMS传感器，是MEMS中的核心元件，它是一种将能量从一种形式转变称另一种形式，并针对特定可测量的输入为用户提供一种可用的能量输出的微型器件，它是采用微电子和微机械加工技术制造出来的。
MEMS行业是百亿美金大市场。根据调研机构Yole的数据，市场空间将从2021年的136亿美金提升至2027年的223亿美金。整体CAGR的增长年复合率为9%。到2027年第一大市场为射频MEMS市场，整体空间为46.64亿美金；第二大市场为惯性市场，IMU惯性和加速度计合计市场空间为44.33亿美金；第三大市场为压力MEMS，市场空间为26.24亿美金；第四大市场为硅麦MEMS，市场空间为23.33亿美金。
MEMS传感器作为微机电系统的关键组成部分，具有体积小、集成化、智能化和成本低等特点，在多个领域有着广泛的应用。本报告将基于华安证券的研究来分析MEMS传感器有哪些值得关注的领域。
图：MEMS和MEMS传感器的工作原理图
MEMS传感器的门类品种繁多，分类方法也很多。按其工作原理，可分为物理型、化学型和生物型三类。其中每种MEMS传感器又有多种细分方法，传感器细分市场也有着丰富的种类：
MEMS压力传感器：这类传感器可以将压强信号转化为电学信号，广泛应用于汽车、消费电子、工业、医疗和航空领域。根据Yole的数据，2022年全球MEMS压力传感器市场规模约为23.39亿美元，是MEMS器件中占比第二大的产品。
MEMS声学传感器：这种传感器利用MEMS技术将声学信号转换为电信号，具有体积小、功耗低等优势。它们在智能手机、智能无线耳机、平板电脑、智能可穿戴设备和智能家居等消费电子领域有着广泛应用。随着物联网、人工智能和5G技术的发展，MEMS声学传感器市场需求快速提升。
MEMS惯性传感器：包括加速度计和陀螺仪，用于测量线性加速度、振动、冲击和倾角等物理属性。这些传感器在消费电子、车载导航、物联网、工业装备和高端装备等领域有广泛应用。2022年全球加速度计市场规模约为14.02亿美元，占MEMS市场空间的9.67%。
MEMS射频器件：作为射频MEMS的一部分，这类器件在移动通信领域有重要应用，如手机中的SAW、BAW滤波器，负责信号频率的滤波，解决信号干扰问题。根据Resonant统计，射频滤波器市场规模在2016-2020年间显著增长，并预计到2025年将进一步增长。
MEMS环境传感器：包括MEMS湿度传感器和气体传感器，广泛应用于工业控制、气象、农业、矿山检测等行业，用于检测目标气体的成分和浓度。
MEMS生物传感器：这类传感器目前处于发展初期，利用生物分子探测生物反应信息，未来在医学、食品工业、环境监测等领域具有广阔发展空间。
图：MEMS传感器的分类
MEMS传感器的市场竞争格局显示，全球市场较为分散，但主要由博世、博通、威讯联合、意法半导体等国外企业占据主要市场份额。在中国市场，歌尔微电子是MEMS传感器行业的龙头企业，占据了显著的市场份额。
随着物联网的快速发展，MEMS传感器作为获取信息的关键节点技术，其应用领域不断拓展。MEMS传感器模拟和扩展人类感官，具备微型化优势，广泛应用于消费电子、汽车电子、工业、医疗等领域。物联网的万物互联特性使得MEMS传感器的市场需求大幅增长。下一篇我们将详细了解物联网对MEMS的影响以及MEMS的主要应用领域。
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