订阅

阅读量:

国产新突破:北方华创推出Accura LX电容耦合等离子体刻蚀机

2024年3月26日
  • 编辑:Ana Hu
  • 中国出海半导体网

 

北方华创科技有限公司(以下简称“北方华创”)近日宣布推出其最新的12英寸电容耦合等离子体介质刻蚀机——Accura LX。这款先进的半导体设备是北方华创在刻蚀技术领域的又一重要突破,标志着公司在高端半导体设备市场的竞争力进一步增强。

北方华创的Accura LX刻蚀机在国际市场上展现出了较强的竞争力。该设备是针对半导体制造中的关键介质刻蚀制程进行优化的12英寸电容耦合等离子体刻蚀机,能够覆盖逻辑领域多个技术节点,特别是AIO(双大马士革刻蚀工艺)和Contact(接触孔)等关键步骤,并可扩展到存储领域的CMOS相关制程。这表明Accura LX在技术上具备了满足当前半导体行业对高性能刻蚀设备的高标准需求。

图:北方华创发布Accura-LX刻蚀机

图:北方华创发布Accura LX刻蚀机

Accura LX的技术性能已达到业界主流水平,具备以下竞争优势:

  1. 技术创新:Accura LX通过软件系统调度优化与特有传输平台的结合,实现了较高的产能和工艺均匀性,以及传输稳定性。
  2. 材料兼容性:该设备能够处理多种膜层材料的晶边刻蚀工艺,如PR(光刻胶)、OX(氧化物)、SiN(氮化硅)、Carbon(碳)、Metal(金属)等。
  3. 精准控制:Accura LX可定制多种尺寸的聚焦环设计组合,实现对等离子体刻蚀区域的精准位置控制。
  4. 智能维护:设备具备软件智能算法,可实施可视化的量化调节,简化维护流程,提高生产效率。
  5. 市场认可:Accura LX已经获得了逻辑及存储器领域头部客户的多个订单,并通过工艺调试进入量产阶段,显示了其在市场上的接受度和信任度。
  6. 国产化贡献:作为国产设备,Accura LX的成功推出和市场表现,不仅推动了中国半导体设备产业的国产化进程,也在全球半导体设备市场中为“中国制造”赢得了声誉。

尽管北方华创在刻蚀设备领域取得了显著进展,但国际市场上的竞争依然激烈。全球刻蚀设备市场主要由几家国际巨头如Lam Research、东京电子(TEL)和应用材料(AMAT)等公司主导。这些公司在技术、经验、资源积累方面具有深厚的背景。然而,北方华创通过持续的技术创新和市场拓展,已经在一定程度上缩小了与这些国际巨头的差距,并在某些技术领域和市场细分中取得了领先地位。

总体来说,北方华创的Accura LX刻蚀机在国际市场上展现了较强的竞争力,尤其是在技术创新和市场响应速度方面。随着公司继续加大研发投入和市场拓展力度,Accura LX及其后续产品有望在全球半导体设备市场中占据更重要的地位。