Entegris公司，作为半导体和其他高科技产业先进材料与工艺解决方案的领先供应商，最近宣布与知名的高效节能功率半导体制造商Onsemi签订了一份长期供货协议。根据该协议，Entegris将为Onsemi提供一系列针对碳化硅（SiC）应用的定制化学机械抛光（CMP）解决方案。
Entegris的总裁兼首席执行官Bertrand Loy表示：“在过去四年中，Entegris凭借其技术实力和创新精神，在不断扩张的SiC市场中确立了领导地位。我们对于与Onsemi达成这项长期供货协议感到非常兴奋。Entegris将提供我们业界领先的CMP解决方案，协助Onsemi满足其客户及市场日益增长的需求。”
尽管SiC为高端半导体制造带来了关键性的优势，但其本身是一种极为坚硬且化学性质稳定的材料，这使得在硅片上实现所需的表面质量面临挑战。Entegris凭借其全面的CMP解决方案，包括抛光液、抛光垫、刷子和CMP后清洗剂，成为CMP解决方案的行业领导者，这些解决方案支持SiC硅片的大规模生产。
图：Entegris与Onsemi达成合作
Entegris材料解决方案部的总裁Dann Woodland指出：“Entegris对碳化硅技术的长远前景充满信心，这一技术正日益成为电动汽车、电力设备、可再生能源、无线通信和云计算等多个行业制造商的依赖。我们全面的CMP解决方案组合，使得像Onsemi这样的SiC硅片大规模生产商能够以高良品率和低缺陷率进行硅片抛光。”
Woodland先生还提到：“我们双方都对这次合作的机遇感到非常激动。我们相信Entegris有能力提供包括特种气体、前驱体和石墨在内的补充解决方案，以满足Onsemi在其他半导体制造工艺中的需求。”
Onsemi的首席采购官兼外部制造副总裁Nana Tseng表示：“Onsemi是全球少数几家能够生产基于SiC的半导体的公司之一，我们从晶体生长到先进封装解决方案的全流程都体现了我们的能力。我们认可Entegris的创新实力以及为碳化硅提供尖端CMP解决方案的能力。与Entegris的协议使我们能够可靠地满足客户对创新技术快速增长的需求，这些技术有助于提高其应用的能源效率。”
