Energetiq Technology是滨松光子学的子公司，也是半导体和科学应用高性能光源领域的领导者，有消息称该公司最近推出了新一代无电极Z-Pinch极紫外(EUV)光源EQS-10，这是一项针对计量学领域的重大进步。EQS-10基于经过现场验证的平台，每个脉冲的能量是前一代的四倍，并且操作频率高达5 kHz。它采用了先进的固态开关技术，确保了超高的效率，使其成为EUV计量学、光刻胶开发和缺陷检测等苛刻EUV应用的首选解决方案。
EQS-10集成了Energetiq独特的直接燃料系统，可以减少高达60%的气体消耗，为半导体行业提供了一个高效、成本效益高的解决方案。这意味着每瓦成本降低了25%，使组织能够在降低运营成本的同时实现更高的性能。EQS-10 EUV光源的特点包括：
- 无与伦比的能量输出：每个脉冲的能量是前一代的四倍。
- 高频操作：操作频率高达5 kHz，确保了先进应用的最大性能。
- 降低拥有成本：气体使用量减少高达60%，每瓦成本降低25%。
- 预电离控制：提高z-pinch效率并实现不同气体的可调性。
- 经过验证的可靠性：目前已安装60个EUV光源，得到Energetiq全面支持网络的支持。
图：Energetig推出新一代EUV光源
Energetiq的无电极Z-Pinch™ EUV光源技术继续为EUV和软X射线光源设定标准。EQS-10保持了客户期望的低碎片、长孔寿命和高空间稳定性，确保了最小的停机时间并最大化了操作效率。在Hamamatsu Photonics全球网络的支持下，EQS-10不仅是一个产品，更是一个适应行业需求的可靠解决方案。
此外，Energetiq的EQ-10R是基于无电极Z-Pinch™技术，使用氙气作为光源，已成为EUV研究和开发项目的理想选择。EQ-10R紧凑、易于使用、可靠且具有成本效益，其模块化设计易于集成到您的工艺中。该系统能够提供高达10瓦的EUV光，并且可以在高达2 kHz的脉冲重复率下连续运行。
Energetiq的EUV光源采用了独特的设计，最小化了热负荷并减少了碎片，使您能够控制峰值亮度和峰值功率，同时提供了一个紧凑、模块化的单元。这些光源的可靠性和易用性非常适合光刻胶研发，具有最小的热负荷、出色的空间稳定性、高重复率、稳定的可重复功率输出、简单灵活的光学接口，并符合CE标志和SEMI S2-0715标准。
Energetiq Technology的EUV光源技术的发展，无疑为半导体制造和科学应用中的先进光刻、掩模空白检测、材料研究和生命科学等领域的进步提供了强有力的支持。
